這些年來光電、生物科技迅速掘起加速更新，半導體也推陳出新挑戰極限，而這些改變則是需要嚴格的生產廠房及研發環境，但在目前市面是並無以有系統介紹建立高科技廠房的專業案頭書，有鑑於此，作者將二十多年來在高科技產業的執行及顧問經驗，將所有的廠務系統作全面有秩序的整理編寫。本書共分為十三大章，內容涵蓋了潔淨室和廠務之八大系統，除此之外有風險管理和建廠工程之規劃內容和執行原則介紹，本書的內容偏重實務之應用面和執行面。本書適合科大電機系、能源與冷凍空調工程系「半導體廠務」、「半導體與光電廠務設施」課程使用。
本書特色
1.次世代半導體產業（8""、12""）和新世代光電產業（五代、六代、七代）建廠廠務和潔淨室系統之最新資料和科技技術。
2.經驗和實務及運轉之技術和專業精華，不侷限理論而著重實務。
3.涵蓋廠務之所有系統和建廠工程實務規劃，將所有系統濃縮於一冊，便於研讀參考。
本書特色
1.次世代半導體產業（8""、12""）和新世代光電產業（五代、六代、七代）建廠廠務和潔淨室系統之最新資料和科技技術。
2.經驗和實務及運轉之技術和專業精華，不侷限理論而著重實務。
3.涵蓋廠務之所有系統和建廠工程實務規劃，將所有系統濃縮於一冊，便於研讀參考。
