微系統是一門融合機、電、光、磁、生、化等多個交叉尖端學科的領域,具有微型化、集成化、智慧化、低成本、高性能、可批量化等優點,已經並將繼續在生物醫療、能源環境、汽車電子、消費電子、無線通訊、軍事國防、航空航天等領域產生深遠影響。
本書以微系統中最具代表性的微感測系統為核心,結合當前的無線通訊以及物聯網技術、能源收集技術、柔性電子技術等新興尖端科技,對廣義微感測系統的相關技術進行了全面系統介紹,包括微系統加工技術、矽基微感測技術、非矽基微感測技術、自供電微感測與微能源技術。同時也介紹了微感測系統在智慧工業、智慧農業、生物醫療、軍事、航空航天等各個應用領域中所發揮的重要作用。
本書以微系統中最具代表性的微感測系統為核心,結合當前的無線通訊以及物聯網技術、能源收集技術、柔性電子技術等新興尖端科技,對廣義微感測系統的相關技術進行了全面系統介紹,包括微系統加工技術、矽基微感測技術、非矽基微感測技術、自供電微感測與微能源技術。同時也介紹了微感測系統在智慧工業、智慧農業、生物醫療、軍事、航空航天等各個應用領域中所發揮的重要作用。
